《2021年全球MEMS传感器行业技术全景图谱》(附专利申请情况、专利竞争和专利价值等)

MEMS传感器行业主要上市公司：目前国内MEMS传感器行业的上市公司主要有歌尔股份(002241)、赛微电子(300456)、士兰微(600460)、华润微(688396)、高德红外(002414)等。

本文核心数据：MEMS传感器专利申请数量、MEMS传感器专利区域分布、MEMS传感器申请人排名、专利市场价值

全文统计口径说明：1)搜索关键词：MEMS传感器及与之相近似或相关关键词;2)搜索范围：标题、摘要和权利说明;3)筛选条件：简单同族申请去重、法律状态为实质审查、授权、PCT国际公布、PCT进入指定国(指定期)，简单同族申请去重是按照受理局进行统计。4)统计截止日期：2021年10月11日。5)若有特殊统计口径会在图表下方备注。

1、全球MEMS传感器行业专利申请概况

(1)技术周期：处于成长期

2010-2019年，全球MEMS传感器行业专利申请人数量及专利申请量均呈现增长态势。虽然2020年全球MEMS传感器行业专利申请人数量及专利申请量有所下降，但是这两大指标数量仍较多。整体来看，全球MEMS传感器技术处于成长期。

注：当前技术领域生命周期所处阶段通过专利申请量与专利申请人数量随时间的推移而变化来分析。

(2)专利申请量及专利授权量：2020年专利数量及授权量均有所下降

2010-2019年全球MEMS传感器行业专利申请数量呈现逐年增长态势，2020年全球MEMS传感器行业专利申请数量有所下降，为1435项。

在专利授权方面，2010-2018年全球MEMS传感器行业专利授权数量逐年增长，2019年开始出现下降趋势，2020年全球MEMS传感器行业专利授权数量为311万项，授权比重为21.7%。

2021年1-10月，全球MEMS传感器行业专利申请数量和专利授权数量分别为404项和14项，授权比重为3.5%。截止2021年10月11日，全球MEMS传感器行业专利申请数量为12119项。

注：①专利授权率表明申请的有效率以及最终获得授权的提交申请成功率。

②统计说明：如果2012年专利申请在2014年获得授权，授予的专利将在2012年专利申请中显示。

(3)专利法律状态：“审中”数量较多，“PCT指定期内”数量最少

目前，全球MEMS传感器大多数专利处于“审中”状态，MEMS传感器专利总量为8502项占全球MEMS传感器专利总量的70%。“有效”状态和“PCT指定期内”的MEMS传感器专利数量分别为3343项和274项，分别占全球MEMS传感器专利总量的28%和2%。

(4)专利市场价值：总价值接近40亿美元，3万-30万美元专利数量较多

目前，全球MEMS传感器行业专利总价值为39.29亿美元。其中，3万-30万美元的MEMS传感器专利申请数量最多，为4278项;其次是3万美元以下的MEMS传感器专利，专利申请量为4055项。3百万美元的MEMS传感器专利申请数量最少，为235项。

统计口径：按每组简单同族一个专利代表的去重规则进行统计，并选择同族中有专利价值的任意一件专利进行显示。

2、全球MEMS传感器行业专利技术类型

(1)专利类型：发明专利占比高达93.15%

在专利类型方面，目前全球有1.15万项MEMS传感器专利为发明专利，占全球MEMS传感器专利申请数量最多，为94.54%。实用新型MEMS传感器专利数量为662项，占全球MEMS传感器专利申请数量的5.46%。

(2)技术构成：第一大技术占比接近15%

从技术构成来看，目前“微观结构系统[2006.01]”的专利申请数量最多，为928项，占总申请量的7.66%。其次是“在基片内或其上制造或处理的装置或系统(B81C3/00优先)〔7〕[2006.01]”，专利申请量为836项，占总申请量的6.90%。

(3)技术焦点：十大热门

全球MEMS传感器前十大热门技术词包括运动传感器、自由落体、硅衬底、配置参数、填充光、磁性材料、成像系统、外围设备、测量装置、排气系统、运动传感器。进一步细分来看，MEMS传感器技术热门词包括传感器、电容传感器、陀螺仪、加速度传感器、微机电结构等。具体情况如下：

注：旭日图内层关键词是从最近5000条专利中提取。外层的关键词是内层关键词的进一步分解。

(4)被引用次数TOP专利：两大专利被引用超500次

用于心脏内压力测量的植入式无线传感器(专利号：US6855115B2)和具有动态卡验证值的金融交易(专利号：US7584153B2)是被引用次数最多的两大MEMS传感器专利，两者被引用次数均超过500次。其它被引用次数前十大专利如下所示：

3、全球MEMS传感器行业专利竞争情况

(1)技术来源国分布：美国占比最高

目前，全球MEMS传感器第一大技术来源国为美国，美国MEMS传感器专利申请量占全球MEMS传感器专利总申请量的55.26%;其次是中国，中国MEMS传感器专利申请量占全球MEMS传感器专利总申请量的14.08%。德国和韩国虽然排名第三和第四，但是与排名第一的美国专利申请量差距较大。

统计说明：①按每件申请显示一个公开文本的去重规则进行统计，并选择公开日最新的文本计算。②按照专利优先权国家进行统计，若无优先权，则按照受理局国家计算。如果有多个优先权国家，则按照最早优先权国家计算。

(2)中国区域专利申请分布：北京最多

中国方面，北京为中国当前申请MEMS传感器专利数量最多的省份，累计当前MEMS传感器专利申请数量为393项。广东和江苏当前申请MEMS传感器专利数量均超过300项。中国当前申请省(市、自治区)MEMS传感器专利数量排名前十的省份还有山东、上海、台湾、浙江、湖北、四川和安徽。

统计口径说明：按照专利申请人提交的地址统计。

(3)专利申请人竞争：三星电子株式会社夺得桂冠

全球MEMS传感器行业专利申请数量TOP10申请人分别是三星电子株式会社、罗伯特·博世有限公司、台湾积体电路制造股份有限公司、意法半导体股份有限公司、苹果公司、英飞凌科技股份有限公司、英特尔公司、英伟达公司、因文森斯公司和高通股份有限公司。

其中，三星电子株式会社MEMS传感器专利申请数量最多，为281项。罗伯特·博世有限公司排名第二，其MEMS传感器专利申请数量为245项。

注：未剔除联合申请数量。

作者：王佳燕  来源：前瞻产业研究院